超聲波清洗速度快、質(zhì)量好，并能大大降低環(huán)境污染，因此被廣泛應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域。電子行業(yè)是超聲波清洗應(yīng)用最早、最為普及的行業(yè)。電子零件和電子元器件的基體清洗都需要采用超聲波清洗。同時，該項技術(shù)還被晶片去蠟工藝采用，并發(fā)展成為主流去蠟工藝，極大的提高了晶片去蠟工藝的工作效率。
超聲波清洗原理
超聲波發(fā)生器可以將低頻電轉(zhuǎn)變成20,kHz以上的高頻電信號，通過高頻電纜輸送到換能器上。一般將超聲波換能器固定在清洗槽的底板上，清洗槽內(nèi)裝滿液體，當(dāng)換能器被加上高頻電壓后，它的壓電陶瓷元件在電場作用下便產(chǎn)生縱向振動。超聲波換能器是一種高效率的換能元件，能將電能轉(zhuǎn)換成強有力的超聲波振動。在產(chǎn)生超聲波振動時，相當(dāng)于一個小的活塞，振幅很小，約幾微米，但振動加速度很大(幾十至幾千個g)。清洗槽上有多個換能器，當(dāng)施加相同的頻率及相位的電能時，就合成了一個巨大的活塞，進行往復(fù)振動。這種振動通過固定換能器的底板傳播到清洗液，在清洗液中傳播就達到了對浸入其中的工件進行清洗的目的。
超聲清洗效應(yīng)
當(dāng)超聲波在介質(zhì)中傳播時，與介質(zhì)相互作用，使介質(zhì)發(fā)生物理和化學(xué)變化，從而產(chǎn)生一系列力學(xué)、熱學(xué)、電磁學(xué)和化學(xué)超聲效應(yīng)。在超聲波去蠟清洗中，主要利用超聲波的空化作用與機械效應(yīng)(直進流作用和加速度)?？栈饔镁褪浅暡ㄒ悦棵?萬次以上的壓縮力和減壓力交互的高頻變換方式對液體進行透射。在減壓力作用下，液體中產(chǎn)生真空核群泡；在壓縮力作用下，真空核群泡被壓力壓碎，產(chǎn)生強大的沖擊力，由此剝離被清洗物表面的污垢，從而達到精密洗凈的目的。超聲波在液體中沿聲的傳播方向產(chǎn)生流動的現(xiàn)象稱為直進流。聲波強度在0.5,W/cm2時，肉眼能看到直進流，其垂直于振動面產(chǎn)生流動，流速約為10,cm/s。通過直進流，被清洗物表面的微油污垢被攪拌，污垢表面的清洗液也產(chǎn)生對流，溶解污物的溶解液與新液混合，使溶解速度加快，對污物的搬運起到了很大的作用。加速度是液體粒子推動產(chǎn)生的。對于頻率較高的超聲波清洗機，空化作用就很不顯著了，這時的清洗主要靠液體粒子超聲作用下的加速度撞擊粒子對污物進行超精密清洗。
超聲波清洗技術(shù)主要通過超聲波的空化、加速度和直進流作用來達到晶片表面去蠟清洗的目的，必須根據(jù)實際清洗需求，選擇合適的超聲波頻率和功率密度完成除蠟工藝。超聲波清洗技術(shù)是半導(dǎo)體材料制備的主要清洗方法，極大地提高了半導(dǎo)體材料制備的工作效率和清洗效果。
