超聲波清洗技術(shù)是多學(xué)科交叉的產(chǎn)物，隨著各種新原理、新材料、新技術(shù)的出現(xiàn)，逐步完善。例如，壓電陶瓷等新材料的科學(xué)技術(shù)的發(fā)展促進了電聲傳輸?shù)拇笠?guī)模生產(chǎn)和應(yīng)用；半導(dǎo)體材料和電力電子技術(shù)的發(fā)展突破了功率超聲發(fā)生器的瓶頸，使清潔行業(yè)急需的大功率驅(qū)動控制器實用。
超聲波清洗技術(shù)的發(fā)展可分為超聲波清洗的基本理論階段和具有實用價值的應(yīng)用階段兩個階段。
(1)超聲波清洗的基本理論階段。
自1880年居里兄弟發(fā)現(xiàn)壓電效應(yīng)以來，壓電已成為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的重要領(lǐng)域。它研究了機電相互作用和能量的耦合和轉(zhuǎn)換，并對晶體結(jié)構(gòu)的對稱性與壓電和鐵電之間的關(guān)系有了深刻的了解。然而，壓電轉(zhuǎn)換器最早用作石英晶體諧振器，僅用作濾波器，壓電效應(yīng)僅限于水聲和電聲器件。
在第一次世界大戰(zhàn)期間，法國著名物理學(xué)家保羅·朗之萬（Langevin）發(fā)明了鋼-石英-鋼結(jié)構(gòu)的夾心壓電換能器，并成功地在水中進行了低頻超聲波發(fā)射和接收實驗，標志著人類正式研究超聲波技術(shù)的應(yīng)用。
直到20世紀40年代初，美國和蘇聯(lián)的科學(xué)家?guī)缀跬瑫r發(fā)現(xiàn)了Batio，陶瓷的鐵電性，而Batio。鐵電性的發(fā)現(xiàn)在理論上和應(yīng)用上對壓電陶瓷的發(fā)展都具有重要意義。
20世紀50年代初，Miller大大改進了換能器，開發(fā)了預(yù)應(yīng)力復(fù)合換能器，為功率超聲技術(shù)的工業(yè)應(yīng)用奠定了基礎(chǔ)。
早期的超聲波理論認為，超聲波清潔的本質(zhì)是超聲波產(chǎn)生的氣泡的清潔作用。日本清潔工程研究會創(chuàng)始人柴野佳英通過反復(fù)試驗證實，真空氣穴真正起到清潔作用，而不是超聲中通過簡單氣體爆發(fā)單氣體爆發(fā)產(chǎn)生的氣泡；同時，也驗證了超聲波產(chǎn)生的氣泡抑制甚至消除了超聲波清洗的效果。1987年，柴野佳英在這一重大發(fā)現(xiàn)后公開發(fā)表了超聲波清洗的基本理論。根據(jù)這一理論，柴野佳英開發(fā)的超聲波清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)先，能有效控制氣穴現(xiàn)象的位置、密度、效率和沖擊力。
(2)具有實用價值的應(yīng)用階段。
超聲波清洗設(shè)備的使用始于20世紀50年代初，主要用于電子、光學(xué)和醫(yī)學(xué)領(lǐng)域。超聲波清洗技術(shù)非常實用，涉及范圍廣，從機械部件到半導(dǎo)體設(shè)備。隨著時間的推移，它通常被稱為無刷清洗。
